FS4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等产品特点:- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计- 支持多种连接方式，易于安装与使用- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压- 零点稳定度高 - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 - 低功耗、低压损 - 响应速度快FS4003通 径 3 mm最大流量 2, 3, 4, 5SLPM量程比 100:1精 度 ±(1.5+0.2FS) %重复性 0.75 %零点输出飘移 ±30 mV输出飘移 0.12 %/oC响应时间 100 ms工作电源 8~18Vdc,100mA输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损 100 pa最大工作压力 0.5 MPa工作温度 -10 ~ +55 oC存储温度 -20 ~ +65 oC工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)FS4008通 径8 mm最大流量10, 20, 30, 40, 50 SLPM量程比 100:1精 度 ±(1.5+0.2FS) %重复性 0.75 %零点输出飘移 ±30 mV输出飘移 0.12 %/oC响应时间 100 ms工作电源 8~18Vdc,100mA输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损600 pa最大工作压力 0.5 MPa工作温度 -10 ~ +55 oC存储温度 -20 ~ +65 oC工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)