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该系统中,在耦合工艺中扮演重要角色的高精运动平台方面,我们采用业界享负盛名的Newport产品以提供高精度、高重复性和穏定性的运动控制和马达驱动运动平台。最高平动(Translational)X、Y、Z和转动(Rotational)Pitch、Yaw、Roll方向的精度分别能达到0.01微米和0.02度。Apico Auto-Align自动耦合封装系统上采用的一切夹具均是我司自主设计研发的。器件夹具方面,Fiber array 跟芯片的夹具都采用高质不锈钢材料制造,提供良好的机械和温差稳定性。入出射部光纤阵列夹具均装有高精度碰触传感器,提供准确胶层间距的控制。Apico Versatile系统控制软件操作简单且功能强大,其模块化的设计使功能升级非常简易。另外,用户只需通过另一方便好用的功能“工艺流程编缉”<图1>,便可轻易地编写最适合的自动耦合工艺流程。而且,工程师或技术员不需要具有任何编程的知识,只需从列表中加减预设功能和设置其对应参数便可,过程快捷方便。我们提供:免费安装、校准和调试。2天免费PLC耦合相关知识和系统操作培训。
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