产品特点：高精度·        卓越的纵向分辨率：0.1 nm (接触式)；0.05 nm（光学非接触式）·        对周围环境和光源的强适应性·        没有机械过滤 宽阔的垂直测量范围·        多种选择光学头及接触式·        纵向扫描范围10 to 500 µm（针尖扫描）·        图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内试用于几乎所有的表面·        透明，不透明，反射光强等多种材料·        垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞·        脆性的材料，软材料，柔性材料表面·        尖锐的，坚硬的，磨损的表面 适应性强·        白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。·        接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的完美结合·        接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。·        在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察·        针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（最小０.１nm）·        软件设置恒定微力接触(0.5 to 100 [mg])l        三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等l        二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等l        表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面l        薄膜和厚膜的台阶高度测量l        划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量l        微电子表面分析和MEMS表征