特点高精度探针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状／轮廓的测量。X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓／多工件测量的效率。X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率(X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm)的轮廓／形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。带有a轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。通过USB端口与数据处理／分析装置(选件)进行信息交换。技术参数:X1轴测量范围: 200mm分辨率: 0.00625μm测量方法:激光全息光栅尺驱动速度:最大40mm/s (CNC模式)  0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度) 0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)测量方向:向前／向后直线度: (0.05+0.0003L)μm、使用标准探针 (0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型探针指示精度(20°C):±(0.16+0.001L)μm   L为驱动长度(mm)Z1轴测量范围: 12mm (标准探针)  24mm (二倍长型探针)分辨率: 0.004μm (标准探针)  0.008μm (二倍长型探针)探针上／下运作:弧形运动测量方法:激光全息光栅尺指示精度(20°C):±(0.07+I0.02HI)μm H为测量高度(mm)测力: 4mN (标准探针)0.75mN (二倍长型探针)跟踪角度:向上60°、向下60°(取决于表面粗糙度)探针针尖:半径: 5μm,角度：40°、钻石 (球型探针) (半径: 0.25mm,蓝宝石)探针方向:向下Z2轴(立柱)测量范围: 300mm (500mm：高立柱型)分辨率: 0.05μm测量方法:反射型光栅尺驱动速度:最大200mm/s (CNC模式) 0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)基座尺寸(W x D): 750 x 600mm基座材料:花岗岩尺寸(W x D x H): 800 x 620 x 1000mm (800 x 620 x 1200mm：高立柱型)重量: 240kg (250kg：高立柱型)