采用陶瓷制作X轴驱动装置的导轨X.Y轴上内建清晰玻璃刻度。（X轴清晰度:0.05μm,Y轴1μm）装配有高精确度的测头装配有多种功能，如:线性补偿功能，圆度补偿功能等 测头和滑道都可轻松替换在SV-2000S2,SV-3000S4/H4/W4/S8/H8/W8这几个型号中，还提供具有“简便操作”功能的控制台。 型号SV-3100S4类型mminch/mm货号每种货号都有标明AC电源线的型号测量力：0.75mN100V AC178-663----110V AC178-663C----120V AC178-663A178-673A220V AC178-663D178-673D240V AC178-663E178-673E货号每种货号都有标明AC电源线的型号测量力：4mN100V AC178-643----110V AC178-643C----120V AC178-643A178-653A220V AC178-643D178-653D240V AC178-643E178-653E平移范围100mm(4")平移线性度0.05μm+1.5L/1000mm[(2+1.5L)μinch] L=测量长度垂直位移300mm(11.8")电动基本尺寸（W×D）610×450mm(24"×17.7")测头速度测量0.2mm/s(.0008"),0.5mm/s(.008"/s),0.1mm/s(.004"/s),0.2 mm/s(.008"/s),0.5mm/s(.02"/s) 1mm/s(.04"/s),2mm/s(.08"/s)定位可用控制杆0.1mm/s(.004"/s)至5mm/s(.2"/s),可用手工给进测量范围800μm[精度:0.01μm](32000μinch[精度:.4μinch])80μm[精度:0.001μm](3200μinch[精度:.04μinch])8μm[精度:0.0001μm](320μinch[精度:.004μinch])标准探测器(178-396-2)(178-397-2)探测方法不同的传输方法测头测量强度0.75mN:钻石，60°圆锥，测头半径:2μm(79μinch)测量强度4mN:钻石，90°圆锥，测头半径:5μm(200μinch)轨道硬度，曲率半径:40mm(1.6")数据分析软件SURFPAK-SV(提供CD-ROM)操作温度15℃-25℃电源100V AC - 240V AC,50/60Hz主装置尺寸710×450×890mm(27.95"×17.72"×35.04")主装置重量140kg(308 lds.)标准附件标准探测器(178-396-2(测量力:0.75mN),178-397-2(测量力:4mN))标准接头（12AAC753）,粗糙度标准板(178-601(mm)和178-602(inch/mm))机器盖(355130),支撑螺栓，润滑剂，扳手，螺丝起子，AC适配器电源线，用户手册