F系列三坐标--速度与精度演绎高性价比 技术特点：三轴全部高精密的花岗岩导轨与空气轴承配合使耗气量达到最小！独特的气路系统，机器运行更稳定，更精确，维护也更简单！三轴全封闭，防止外界影响。四面环抱式自洁空气轴承，保证了机器无摩擦平稳运行！双重被动减震，防止低频震动影响，极大的保证了测量的精度。内置钢丝增强同步带，让机器的动态性能更加优越，非常适合高速扫描 测量范围     X          500              600             700 (mm)        Y          600/800       800/1000        1000/1200                 Z*          400             500             500           机器重量KG              400           430/480           500/560最大承载KG              450           500/550           600/650光栅分辨率                              0.5um测量精度um             MPEe= 1.5-2.2+L/350       MPEp=1.5-2.2空气消耗                                25 L/min                   * Z轴可依据客户需求提高高度100或200mm