型号C544C574测量范围×轴505mm(20")Y轴405mm(16")705mm(28")Z轴405mm (26")测长系统基准反射光栅分辨率0.0001mm(000004")导向方式各坐标轴上的空气轴承测量精度ISO 10360—2(20℃±11℃E=(1.9+3L/1000)UM当使用TP200时E=(1.9+3L/1000)UM当使用TP200时R=1.9μm(当使用TP200时)R=1.7μm(当使用TP200时)ANSI/ASMEB89.1球杆性能＝9μm(.00036")重复精度＝3μm(.00012")　 　驱动速度CNC模式每轴定位时驱动速度8mm/s至250mm/s（3.15"至9.84"/s）(三轴移动时最大驱动速度430mm/s(16.93"/s)测量时驱动速度1mm/s至3mm/s(12"/s)操纵杆模式0至80mm/s(3.15"/s)(高速模式)0至3mm/s(0.12"/s)(低速模式)0.05至80mm/s(0.002"/s)(微进给模式)最大测量速度8mm/s最大测量加速度各轴加速度980mm/s2(38.58"/s2)（三轴移动是最大合成加速度）1697mm/s2(66.81"/s2)工件最大高度545mm(21 46")最大重量180kq(1133 ibs)质量515kq(1133 ibs)气压0.4MPa空气消耗量50升/分(在正常条件下1或1.8CFM) 温度范围16至26℃温度漂移每小时2.0k每24小时5.0k温度梯度垂直方向1.0k/m水平方向1.0k/m