特点• Z 轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依靠测量倍率。• 可以应用数据分析系统(个人计算机和Formpak-1000 软件) 。技术参数X轴测量范围50mm（CV-1000）或100mm（CV-2000）分辨率0.2μm测量方法反射型线性编码器驱动速度0.2,1mm/s和手动测量速度0.02-5mm/s测量方向向后直线度3.5μm /50mm(CV-1000)3.5μm /100mm(CV-2000)*当X轴在水平方向上指示精度（20℃）±（3.5+2L/100）μmL为驱动长度（mm）倾斜范围±45°（CV-2000）Z1轴测量范围25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000）分辨率0.4μm（CV-1000系列）0.5μm（CV-2000系列）测量方法弧形编码器指示精度（20℃）±（3.5+14H/25）μm）H为水平位置上的测量高度（mm）探针上下运作弧形运动探针方向向下测力10-30mN跟踪角度向上77°向下87°探针针尖半径25μm材料硬质合金针尖基座尺寸（WxH）750x600mm（CV-2000）基座材料花岗岩（CV-2000）重量主机5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4）控制装置14kg 遥控箱0.9kg电源100-240VAC±10% 50/60Hz能耗150W仅限主机Z2轴（立柱，仅用于CV-2000）立柱类型电动（S4型）和手动（M4型）垂直行程250mm（S4型）和320mm（M4型）分辨率0.2um（S4型）检测方法ABSOLUTE线性编码器（S4型）驱动速度0-5mm/s和手动     性能参数型号CV-1000N2CV-2000N4CV-2000S4X1轴测量范围50mm100mm100mmZ1轴测量范围25mm40mm40mmZ2轴测量范围-250mm320mm