特点•高精度CNC轮廓／形状测量装置。•X1, (Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s，确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。•带有a轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。•带有Y轴的工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。•可以通过同时控制X, Y两轴，对斜面进行测量。•Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检测器将自动停止。•提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。•通过USB与数据处理／分析装置(选件)进行信息交换技术参数X1轴测量范围: 200mm分辨率: 0.05μm测量方法:反射型光栅尺驱动速度:最大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)测量速度: 0.02 - 2mm/s测量方向:向前／向后直线度: 2μm/200mm*当X轴在水平方向上指示精度:±(1+4L/200)μm, (20°C时) * L为驱动长度(mm)a轴倾斜角度: -45°至+10°分辨率: 0.000225°旋转速度: 1rpmZ2轴(立柱)垂直行程: 300mm或500mm分辨率: 0.05μm测量方法:反射型光栅尺驱动速度:最大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)Z1轴(检测器)测量范围:±25mm分辨率:0.05μm ,测量方法: laser hologage (CV-4100CNC) ,指示精度:±(0.8+I0.5HI/25)μm (20°C时) *H为水平位置上的测量高度(mm)探针上／下运作:弧形运动探针方向:向上／向下测力: 30mN跟踪角度:向上：70°、向下：70°(根据表面粗糙度，使用标准单切面探针)探针针尖半径：25μm、硬质合金针尖基座尺寸(W x H): 750 x 600mm基座材料:花岗岩