特点大幅度提高了驱动速度（X轴：80mm/s Z2轴：20mm/s），近一步降低了总测量时间。为了在一定时段内维持仪器的直线度精度规格，三丰公司才用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。大量的外围设备支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。驱动装置（X轴）和立拄（Z2轴）中集成了高精度光栅尺（Z2轴为ABS型），从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。X轴精度：±（0.8+0.01L）μm Z1轴精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm *（CV-4100S4、H4、W4），针对高精度工件的测量所设计。 L为驱动长度 H为测量高度CV-4100系列的驱动装置集成了Laser Hologage检位器，在Z轴（垂直方向）的窄/宽测量范围内，提供卓越的精度和分辨率。技术参数X轴  测量范围100mm分辨率0.05um检测方法反射型线性编码器驱动速度80mm/s和手动测量速度0.02-5mm/s移动方向向前/向后直线度0.8um/100mm,2um/200mm*当X轴在水平方向上指示精度(20°C时)± (1+0.01L)um*L为驱动长度(mm)倾斜范围±45° Z2轴（立柱） 垂直行程300mm分辨率1um检测方法ABSOLUTE线性编码器驱动速度0-20mm/s和手动 Z1轴(检测器) 测量范围±25mm分辨率0.2um检测方法线性编码器指示精度(20°C时)± (2+|4H|/100)um*H为水平位置上的测量高度(mm)测针上/下运作弧形运动测针方向向上/向下测力30mN跟踪角度向上：77°、向下：87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)测针针尖半径：25um、硬质合金针尖电源100-240VAC±10%,50/60Hz