測定範圍: X軸:100mm  Z軸: 50mm 驅動部真直度精度: 0.8μm/100mm 驅動部上下移動量: 300mm 驅動部傾斜角度:  ±45° 測針追蹤角度: 向上: 77°    往下: 87° 驅動速度:測定速度: 0.2~0.5mm/s 回程速度: 0.1~0.5mm/s,手動可   測針上下作動:圓弧運動(R=375mm) 測定力: 1~3gf(30mN) 光學尺,分解能X軸0.05μm,Z軸0.2μm,Z2軸1μm指示精度:X軸:±(1+0.01L/100)μm Z軸:±(2+|4H|/100)μm,Z=測定高度(±25mm) 測定倍率X軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍Z軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍 數值輸出: RS-232C 重量: 本体部: 約116kg 電源: Via AC adapter (100~240V AC,50/60 Hz)