特点•大幅度提高了驱动速度(X轴：80mm/s, Z2轴：20mm/s)，近一步降低了总测量时间。•为了在一定时段内维持仪器的直线度精度规格，三丰公司采用了具有极佳的耐摩擦性及稳定性的高硬度陶瓷导轨。•大量的外周设备选件支持CNC模式，从而可以很容易实现CNC测量。•驱动装置(X轴)和立柱(Z2轴)中集成了高精度光栅尺(Z2轴为ABS型)，从而提高了在垂直方向持续自动测量小孔和不易定位工件的重复精度。•X轴精度：±(0.8+0.01L)μm,Z1轴精度：±(0.8+|0.5H|/25)μm*，针对高精度工件的测量所设计。自动测量功能•配备有大量支持CNC模式的外周设备选件，从而可实现自动测量功能。批量校正功能•专用的校正规可以使用户在一次操作中对测量仪的Z轴增益、对称性、探针半径等进行校正。技术参数X轴测量范围: 100mm或200mm分辨率: 0.05μm测量方法:反射型光栅尺驱动速度: 80mm/s和手动测量速度: 0.02 - 5mm/s测量方向:向前／向后直线度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm*当X轴在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4) (20°C时)±(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)* L为驱动长度(mm)倾斜范围:±45°Z2轴(立柱)垂直行程: 300mm或500mm分辨率: 1μm测量方法: ABSOLUTE光栅尺驱动速度: 0 - 20mm/s和手动Z1轴(检测器)测量范围:±25mm分辨率: 0.2μm测量方法:光栅尺,指示精度:±(2+I4HI/100)μm (20°C时) *H为水平位置上的测量高度(mm)探针上／下运作:弧形运动探针方向:向上／向下测力: 30mN跟踪角度:向上：77°、向下：87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面探针)探针针尖半径: 25μm、硬质合金针尖基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm基座材料:花岗岩重量主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)145kg (S8), 155kg (H8), 160kg (W8)控制装置: 14kg遥控箱: 0.9kg电源: 100–240VAC±10%, 50/60Hz能耗: 400W (仅限主机)