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详细信息
 类型:   气体压力控制器  外形尺寸:   在+1.0% 内 ((mm))
 测量范围:   表压式:10-500千帕 绝对压力型:10―300千帕   

测量制度真空发散形式半导体过滤判断        阀执行机构电磁常闭      管制范围表压式:10-500千帕绝对压力型:10―300千帕响应时间11秒. 0-100%或以下的反应响应时间26秒. 0-100%或以下的反应压力控制精度精度在+1.0%内精度保证温度15°C~35°C对外泄漏率6x10-11 Pa.m3/s压力输入信号0.1~5VDC压力输出信号0~5VDC接触介质的材质SUS316L,Co-ni,PTFE,AU电    源+15 VDC (±5%) 100 mA,–15 VDC (±5%) 200 mA安装方向任何方位连        接1/4VCR泄露率6×10–11Pa m3/second (metal)1× 10–8Pam3/second (rubber)
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