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详细信息
 类型:   0.0000001(mm)  测量范围:   薄膜测厚仪 ((mm))
 测量精度:   100~230(V) ((%))  重量:   89*203*305(mm) ((g))
 外形尺寸:   TFT LCD图形显示器 ((mm))   

产品型号:XTC/3 INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球领先者,现在为您提供高生产价值和低拥有成本的先进仪器。无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。产品详细介绍:XTC/3石英晶控仪先进,实用的单层和多层镀膜速率控制,无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1专利技术,提供可靠的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和极高的可靠性,可确保高的生产率。有单膜层和多膜层型号■ModelLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于最高生产率■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个传感器和两个源■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个传感器和两个源■易阅读的TFT LCD图形显示器■为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称■有以太网连接软件■单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)技术规范功能,参数,或技术规范XTC/3S单层膜XTC/3M多层膜测量分辨的频率变化+0.05Hz+0.05Hz测量区间0.25秒0.25秒厚度和速率分辨/测量0.06A,在工具/密度=1000.06A,在工具/密度=100 基频=6M Hz基频=6M Hz支持XTAL2转换是是计算机通讯RS232标准,以太网TCP/IP选件RS232标准,以太网TCP/IP选件最大RS232波特率115.2千波特115.2千波特继电器数12标准, 无事例可指定12标准, 事例可指定可编程继电器功能数11每个继电器功能11继电器电压额定值30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 42V峰,在2.5安42V峰,在2.5安输入数8TTL, 24伏直流最大8TTL, 24伏直流最大可编程输入功能数1, 无事例可指定1, 事例指定记入仪输入数11手动电源/手持控制器是是排风扇无无测试模式是是挡光器延迟是是次级工具是是最大允许相移频率1.0 M Hz1.0 M Hz机箱尺寸1/2机架,2U高度1/2机架,2U高度速率和膜厚显示分辨0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从100至999A/秒0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从100至999A/秒 显示膜厚分辨=1A显示膜厚分辨=1A通过输入选择镀层是否用户指导语言英文,中文英文,中文控制环       PIDPID数据登录是是质量和稳定性功能是是样品和保持是是坩埚选择是是坩埚反馈输入是是选择控制电压极性是,2.5,5,10伏是,2.5,5,10伏 15-位分辨率15-位分辨率程序锁定码        是        是用户标签过程/镀层        否        是XTC/2 RS232通讯兼容性是(有限的)是(有限的)
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